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看着眼前的光刻机,赵阳激动不已。
光刻机,它利用光的衍射原理,可以在硅片上生成微米级精度的电路图案,这对集成电路的批量生产意义重大。
光刻机的工作原理是,先用超纯净的晶圆作为集成电路的载体,然后在晶圆表面蒸镀一层均匀的光刻胶。
光刻胶是一种感光材料,经过光照射后,可以产生化学变化。
接下来的关键步骤是利用掩膜。
掩膜上面开设有需要在硅片上形成的电路图形的孔槽或透明区域,可以控制光线只照射在特定区域。
制作掩膜需要先绘制精细的电路设计图,然后通过放大、缩小等光学手段,将电路设计图案以相应的比例投影到掩膜上,这样掩膜上的图案就与电路设计一一对应了。
有了掩膜,就可以利用光刻机上的聚光镜头,将紫外线光束经掩膜准确照射到硅片上的光刻胶上,经过显影,原本完整的光刻胶层就会形成与电路设计图案相符的间隔区域和连接区域。
最后,利用腐蚀工艺蚀刻硅片,就可以获得设计电路的物理形态。
可以说,掩膜是光刻机中至关重要的一个部件,它决定了电路图案能够精确地转移到硅片上。
赵阳打量着眼前这台外形简朴的设备,内心澎湃万分。
作为第一代光刻机,它的光学系统和机械结构都还比较简单,但却蕴含了巨大的潜力。
有了这台光刻机,再配合精心设计的掩膜,他就可以开始实践集成电路芯片的制造了。
在小世界加工厂里,赵阳马上开始着手设计自己的第一枚芯片。
根据光刻机的技术指标,他打算设计一款 10微米工艺的小型芯片。
之所以选择 10微米,是考虑到这台光刻机属于第一代,分辨率和对准精度还有限。
但即便是 10微米,在这个年代也已经相当先进了。
实际上,在这个年代种花家的集成电路技术并不落后,光刻机的研制也起步很早,只是后来因为各种原因放弃了自主研发,现在有了光刻机,他一定要抓住时机,让种花半导体工业走上正轨。
赵阳首先在加工车间里取了一块圆形的单晶硅晶圆,这将作为芯片的基础载体。
这块晶圆经过精密切割与抛光,表面达到了光学级别的平整光洁,确保芯片制造时的精度。
然后,他使用化学气相沉积技术,在晶圆表面镀上了一层均匀的硅氧化物,这是电介质层。
接着再镀上一层铝薄膜,这将作为电路的导电层。
铺垫完成后,赵阳取出设计好的电路布图,这是一款简单的运算放大器芯片,包含了一些基础逻辑门和运放模块。
他使用绘图软件将电路布图精确地绘制出来,然后通过光刻技术制作了一张掩膜版图。
这张掩膜是关键,它将决定电路能够精确地印刷到晶圆上。
赵阳把掩膜小心地放入光刻机的顶部,调整镜头,使光束对准晶圆,然后启动光刻机。
强大的紫外线通过掩膜上的透明区域照射在晶圆的光刻胶上,反复曝光多次。
曝光完成后,利用显影液洗去未照射区域的光刻胶,经过烘干,电路图案就显现出来了。
接下来就是腐蚀工序,将不需要的区域腐蚀掉。
首先是干法腐蚀,使用气体蚀刻掉红外线照射区域以外的铝层,这样就形成了电路的导电线路。
然后进行湿法腐蚀,移除硅氧化层,使芯片的晶体管区域露出硅基底,为后续的掺杂打下基础。
经过上述关键工序,芯片的基本电路结构就形成了。
最后还需要进行掺杂,向指定区域掺入杂质原子,形成N型与p型半导体,完成晶体管的形成。
反复检查后,赵阳确认芯片的芯片结构与设计完全一致,没有缺陷。
第一枚芯片终于诞生了!
虽然只有约5毫米见方,但却包含了上百个电子元件。
这在现在已经相当了不起。
赵阳清楚,芯片的重要意义在于实现电路元件的大规模集成。
利用普通独立的电子器件实现计算机需要巨大的空间,... -->>
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